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脉冲激光溅射沉积PZT膜 期刊论文
应用激光, 1999, 期号: 5, 页码: 262-264+268
作者:  冯钟潮,赵岩,锺志源
收藏  |  浏览/下载:91/0  |  提交时间:2012/04/12
脉冲激光溅射沉积  压电陶瓷  薄膜  
脉冲激光溅射沉积PZT膜 会议论文
应用激光<1999.5>, 济南, 1999-10
作者:  冯钟潮;  赵岩;  钟志源
收藏  |  浏览/下载:69/0  |  提交时间:2013/08/21
Pzt薄膜  脉冲激光溅射沉积  压电陶瓷  
脉冲激光溅射沉积WO_3气敏膜 期刊论文
传感技术学报, 1998, 期号: 4, 页码: 78-82
作者:  赵岩,冯钟潮,张炳春,梁勇
收藏  |  浏览/下载:77/0  |  提交时间:2012/04/12
气体传感器  脉冲激光溅射镀膜  Wo_3膜  
脉冲激光溅射SnO2气敏膜 ̄① 期刊论文
云南大学学报(自然科学版), 1997, 期号: 1, 页码: 66-68
作者:  赵岩,冯钟潮,梁勇
收藏  |  浏览/下载:114/0  |  提交时间:2012/04/12
脉冲激光溅射  Sno2  气敏膜分类号tn304.21薄膜型传感器易于微型化  集成化  同半导体技术结合起来  制成性能稳定  低能耗  强功能的气敏器件  是气敏传感器的发展方向之一。制作薄膜气敏器件的关键技术之一是薄膜的生长技术。现在采用的有:蒸发法  溅射法  溶胶-凝胶(so