| 脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣① |
| 赵岩,冯钟潮,梁勇
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| 1997-01-12
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| 发表期刊 | 云南大学学报(自然科学版)
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| 期号 | 1页码:66-68 |
| 摘要 | 脉冲激光溅射镀膜是一种高质量的薄膜制备技术，本文研究分别以ＳｎＯ２和纯锡作靶，用此技术生长的ＳｎＯ２膜的结构及对氢、乙醇的气敏性，探索将此技术应用于气敏膜制备的途径。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所
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| 关键词 | 脉冲激光溅射
Sno2
气敏膜分类号tn304．21薄膜型传感器易于微型化
集成化
同半导体技术结合起来
制成性能稳定
低能耗
强功能的气敏器件
是气敏传感器的发展方向之一。制作薄膜气敏器件的关键技术之一是薄膜的生长技术。现在采用的有：蒸发法
溅射法
溶胶－凝胶（so
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27914
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
赵岩,冯钟潮,梁勇. 脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣①[J]. 云南大学学报(自然科学版),1997(1):66-68.
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| APA |
赵岩,冯钟潮,梁勇.(1997).脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣①.云南大学学报(自然科学版)(1),66-68.
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| MLA |
赵岩,冯钟潮,梁勇."脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣①".云南大学学报(自然科学版) .1(1997):66-68.
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