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磁控反应溅射TiO_2薄膜的实验研究 期刊论文
真空, 2006, 期号: 4, 页码: 13-15
作者:  常学森;  巴德纯;  闻立时;  刘坤;  李飞;  张健
收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2012/04/12
纳米二氧化钛薄膜  氧流量  亲水性  磁控溅射