| 热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算 |
| 汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时
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| 2003-08-25
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| 发表期刊 | 材料研究学报
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| 期号 | 4页码:345-352 |
| 摘要 | 使用在连续介质中建立的二维流场数学模型,模拟计算了在用HFCVD方法生长金刚石薄膜过程中影响气体温度分布的多个沉积工艺参数,研究了气体的速度和体密度的空间分布。结果表明,在优化工艺参数条件下,高温热丝的热阻塞作用导致气体状态参数的不均匀空间分布;在热丝附近气体的速度大而靠近反应腔体侧壁处小;热丝附近处气体体密度减小而靠近冷反应腔体例壁处增加,采用绝热或高等温边界的反应腔管道壁可以消除气体的热绕流现象,有利于大面积金刚石薄膜的快速均匀生长。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 沈阳市 110016
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| 关键词 | 材料科学基础学科
空间场
模拟计算
金刚石薄膜
热丝化学气相沉积
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26018
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时. 热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算[J]. 材料研究学报,2003(4):345-352.
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| APA |
汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时.(2003).热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算.材料研究学报(4),345-352.
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| MLA |
汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时."热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算".材料研究学报 .4(2003):345-352.
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