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TiAl过渡层对电弧离子镀沉积TiAlN膜层的影响 期刊论文
人工晶体学报, 2004, 期号: 3, 页码: 422-427
作者:  宋贵宏,郑静地,刘越,孙超
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电弧离子镀  Tialn膜层  织构  Tial过渡层  结合强度  内应力