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电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制 期刊论文
材料保护, 2010, 期号: 12, 页码: 25-27+30+85
作者:  李月巧;  李伟洲;  梁天权;  胡治流;  孙超
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电弧离子镀  Alcrn沉积层  初期氧化  真空退火