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磁控反应溅射与激光退火处理制备高浓度氮掺杂二氧化钛晶化薄膜材料 期刊论文
中国基础科学, 2011, 期号: 1, 页码: 15-17
作者:  李琦;  尚建库
收藏  |  浏览/下载：140/0  |  提交时间：2012/04/12
磁控反应溅射  激光退火  薄膜晶化  掺杂