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氮气分压对电弧离子镀CrN_x薄膜组织结构的影响 期刊论文
真空科学与技术学报, 2010, 期号: 6, 页码: 662-666
作者:  陈康敏;  张晓柠;  郑陈超;  黄燕;  关庆丰;  宫磊;  孙超
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电弧离子镀  Crnx薄膜  氮气分压  组织结构  
氮气分压对电弧离子镀CrNx薄膜组织结构的影响 期刊论文
真空科学与技术学报, 2010, 卷号: 30.0, 期号: 006, 页码: 662-666
作者:  陈康敏;  张晓柠;  郑陈超;  黄燕;  关庆丰;  宫磊;  孙超
收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2021/02/03
电弧离子镀  CrNx薄膜  氮气分压  组织结构