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电弧离子镀沉积工艺参数的影响 期刊论文
真空, 2018, 卷号: 55, 期号: 06, 页码: 49-59
作者:  赵彦辉;  史文博;  刘忠海;  刘占奇;  于宝海
收藏  |  浏览/下载：124/0  |  提交时间：2021/02/02
电弧离子镀  弧电流  沉积气压  基体偏压  沉积温度