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Simulations of the dependence of gas physical parameters on deposition variables during HFCVD diamond films 期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE & TECHNOLOGY, 2006, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 599-604
作者:  Wang, Aiying;  Lee, Kwangryeol;  Sun, Chao;  Wen, Lishi
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gas physical parameters  simulations  diamond films  HFCVD  
Simulations of the dependence of gas physical parameters on deposition variables during HFCVD diamond films 期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE & TECHNOLOGY, 2006, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 599-604
作者:  Wang, Aiying;  Lee, Kwangryeol;  Sun, Chao;  Wen, Lishi
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gas physical parameters  simulations  diamond films  HFCVD  
热丝化学气相生长金刚石薄膜拟计算和动力学机制研究 学位论文
: 中国科学院金属研究所, 2003
作者:  汪爱英
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管道热丝CVC金刚石膜反应器温度场的数值计算 期刊论文
人工晶体学报, 2002, 卷号: 31, 期号: 6, 页码: 576-582
作者:  汪爱英;  纪爱玲;  邹友生;  孙超;  黄荣芳;  闻立时
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热丝化学气相沉积  金刚石膜  温度场  模拟计算