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Thermodynamics-based sealing method for anodized aluminum used in semiconductor processing apparatuses
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE & TECHNOLOGY, 2025, 卷号: 216, 页码: 241-259
作者:
Wang, Yuhang
;
Zhao, Yang
;
Wang, Shaogang
;
Chen, Ji
;
Zhang, Tao
;
Wang, Fuhui
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提交时间:2025/04/27
Semiconductor
Thermodynamic calculations
Anodized aluminum
Sealing method
Design principle
Measuring phonon dispersion at an interface
期刊论文
NATURE, 2021, 卷号: 599, 期号: 7885, 页码: 399-+
作者:
Qi, Ruishi
;
Shi, Ruochen
;
Li, Yuehui
;
Sun, Yuanwei
;
Wu, Mei
;
Li, Ning
;
Du, Jinlong
;
Liu, Kaihui
;
Chen, Chunlin
;
Chen, Ji
;
Wang, Feng
;
Yu, Dapeng
;
Wang, En-Ge
;
Gao, Peng
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浏览/下载:142/0
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提交时间:2022/01/27
电沉积Ni/WC-Co纳米复合镀层制备及腐蚀性能研究
期刊论文
腐蚀科学与防护技术, 2012, 期号: 4, 页码: 305-308
作者:
武占文
;
陈吉
;
史艳华
;
梁平
;
杨明川
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浏览/下载:123/0
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提交时间:2013/02/23
纳米复合材料
Ni
Wc-co
显微硬度
耐蚀性
利用纳米压痕技术对纳米晶体Cu及其合金变形机制的研究
学位论文
: 中国科学院金属研究所, 2004
作者:
陈吉
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提交时间:2013/04/25
纳米Al/Al_2O_3复合材料的热稳定性机理
期刊论文
材料研究学报, 2002, 期号: 4, 页码: 361-364
作者:
杨志卿,陈 吉,贺连龙,吴 波,范学书,丛洪涛,叶恒强
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提交时间:2012/04/12
复合材料
Al/al2o3
热稳定性
纳米Al/Al_2O_3复合材料中Al_2O_3膜的碎化对性能的影响
期刊论文
材料研究学报, 2002, 期号: 3, 页码: 225-229
作者:
杨志卿,贺连龙,胡魁义,陈 吉,范学书,丛洪涛,叶恒强
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提交时间:2012/04/12
Al2o3膜
Al/al2o3复合材料
微观组织
力学性能
内耗
纳米Al/Al2O3复合材料的热稳定性机理
期刊论文
材料研究学报, 2002, 卷号: 16.0, 期号: 004, 页码: 361-364
作者:
杨志卿陈 吉贺连龙吴 波范学书丛洪涛叶恒强
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提交时间:2021/02/02
纳米复合材料
Al/Al2O3
热稳定性
铝
氧化铝
纳米Al/Al2O3复合材料的热稳定性机理
期刊论文
材料研究学报, 2002, 卷号: 16.0, 期号: 004, 页码: 361-364
作者:
杨志卿陈 吉贺连龙吴 波范学书丛洪涛叶恒强
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浏览/下载:66/0
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提交时间:2021/02/02
纳米复合材料
Al/Al2O3
热稳定性
铝
氧化铝
低频内耗方法研究纳米晶Al块体材料的退火效应
期刊论文
中山大学学报(自然科学版), 2001, 期号: S3, 页码: 257-260
作者:
陈吉,丛洪涛,卢柯,李广义
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提交时间:2012/04/12
纳米晶
Al
内耗
纳米压痕法测量Cu的室温蠕变速率敏感指数
期刊论文
金属学报, 2001, 期号: 11, 页码: 1179-1183
作者:
陈吉,汪伟,卢磊,卢柯
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提交时间:2012/04/12
纳米压痕
蠕变速率敏感指数
Cu