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一种磁控电弧离子镀复合沉积工艺和沉积装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2016-01-13, 公开日期: 2016-01-13
发明人:  赵彦辉、肖金泉、于宝海、华伟刚、宫骏、孙超
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