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一种Al-O-N扩散阻挡层及制备方法 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-12-03, 公开日期: 2008-12-03
发明人:  孙超, 王启民, 李伟洲, 姚勇, 鲍泽斌, 刘山川, 宫骏 and 闻立时
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一种Cr-O-N活性扩散阻挡层及制备方法 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2008-12-03, 公开日期: 2008-12-03
发明人:  孙超, 李伟洲, 王启民, 姚勇, 鲍泽斌, 刘山川, 宫骏 and 闻立时
收藏  |  浏览/下载：57/0  |  提交时间：2013/06/06