一种碳化硅片状晶体的制备方法 | |
阎德胜, 胡宛平, 苏国跃 and 曲哲 | |
2003-03-12 | |
专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
公开日期 | 2003-03-12 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明涉及一种硅晶的制备方法,其特征在于采用两步制备法:将SiO2粉和C粉按比例(1~3)∶(3~1),在1400~2000℃下,保温1~2小时,合成β-SiC晶须,再将此晶须与SiO2粉和C粉及助生长剂(铝化合物)按比例(5~10)∶(10~30)∶(5~10)∶(0.1~2.0)在1900~2250℃下保温1~2小时,合成α-SiC片状晶体。 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 公开 |
申请号 | CN1401828 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67528 |
专题 | 中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 阎德胜, 胡宛平, 苏国跃 and 曲哲. 一种碳化硅片状晶体的制备方法[P]. 2003-03-12. |
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