| 膜／基结合强度的检测方法及其装置 | |
| 李曙, 李诗卓 and 魏向东 | |
| 1993-01-27 | |
| 专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
| 公开日期 | 1993-01-27 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种膜／基结合强度的检测方法及其装置,系属于力学测试领域。本发明的主要特征是基于膜／基界面的不连续性,利用所测的能耗或切向力在破膜时出现的突变作力膜／基剥离的判据,扣除膜、基各自的能耗而获得一个与界面结合密切相关的结合能判据。为实施上述方法,本发明还提供了一个检测装置,其装置中的样品台可做升降运动。 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN1068425 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/66216 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李曙, 李诗卓 and 魏向东. 膜／基结合强度的检测方法及其装置[P]. 1993-01-27. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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