| 合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响 |
| 马红伟; 刘实; 熊良银
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| 2012-06-20
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| 发表期刊 | 原子能科学技术
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| 期号 | 6页码:744-748 |
| 摘要 | 研究了直流磁控溅射Ti、TiMo、TiMoY及TiMoYAl薄膜的形貌、结构和力学性能,探讨了合金化对Ti膜的影响。结果表明,合金化使Ti膜由α相结构转变为α+β双相结构,改变了薄膜的择优取向,降低了薄膜表面粗糙度,并改善了薄膜的力学性能。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所;
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| 关键词 | 磁控溅射
Ti膜
合金化
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/60765
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
马红伟,刘实,熊良银. 合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响[J]. 原子能科学技术,2012(6):744-748.
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| APA |
马红伟,刘实,&熊良银.(2012).合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响.原子能科学技术(6),744-748.
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| MLA |
马红伟,et al."合金化对溅射Ti膜材结构和力学性能的影响".原子能科学技术 .6(2012):744-748.
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