| EDAX 9100能谱仪薄膜定量分析的研究 |
| 黎晶; 任允蓉; 郭可信
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| 1984-04-30
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| 发表期刊 | 电子显微学报
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| 期号 | 2页码:25-31 |
| 摘要 | 本文通过在Philips EM400T透射电镜上用一些标准成分的样品进行薄膜X射线能谱无标样成分分析实验,检验了目前国内广泛使用的美国EDAX 9100能谱仪薄膜无标样方法的分析准确度。本实验结果为:在分析Cr,Fe,Ni等相邻元素时,准确度较高,绝对误差一般在1％左右或更小;而使用同一线系分析临界激发能之比E_A/E_B≤2的近邻元素,相对误差约为5％～10％;分析非近邻元素的误差还要大些;而使用不同线系分析,相对误差可大至20％～50％。本实验认为采用高电压、尽可能使用同一线系进行分析及选取能量离得较近的X射线进行分析可以提高9100能谱仪的分析准确度。通过用TaSe_2薄膜在不同厚度与X光出射角进行的薄样品吸收实验,证明了在分析质量吸收系数之差Δμ较大的样品时,必须考虑吸收修正。用Goldstein等的薄样品吸收公式:F_(AB)=exp〔-(μ_B-μ_A)ρtcscψ/2〕可以较好地克服由薄样品吸收带来的分析误差,从而明显改善了9100能谱仪对TaSe_2的分析结果。 |
| 部门归属 | 北京钢铁学院 中国科学院金属研究所,北京钢铁学院,中国科学院金属研究所,北京钢铁学院,中国科学院金属研究所,
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| 关键词 | 能谱仪:4813
分析结果:4160
分析准确度:3507
定量分析:3004
相对误差:2962
薄膜:2697
吸收修正:2611
线系:2352
合金样品:2277
邻元素:2146
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29773
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
黎晶,任允蓉,郭可信. EDAX 9100能谱仪薄膜定量分析的研究[J]. 电子显微学报,1984(2):25-31.
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| APA |
黎晶,任允蓉,&郭可信.(1984).EDAX 9100能谱仪薄膜定量分析的研究.电子显微学报(2),25-31.
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| MLA |
黎晶,et al."EDAX 9100能谱仪薄膜定量分析的研究".电子显微学报 .2(1984):25-31.
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